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제품소개

투영 노광 장치 (LED 광원 탑재)

고화질 투영 노광 장치를 용도에 따라 맞춤 제공합니다. LED 광원을 표준으로 탑재하고 있어 기존의 수은 램프 광원에 비해 유지비용이 1/10 되었습니다.

Projection Lens Lineup

Model L/S Resolution *1 Exp. Area[mm] Mag. Wavelength Target L/S for  SAP
B 1.2-2.5μm Φ20-Φ50 □14-□35 x0.5 g/h/i-line > 2/2μm
Ck 1.4μm Φ100(4”) □70 x1 i-line > 2/2μm
Dk *2 2.0μm Φ150(6”) □100 x1 i-line > 3/3μm
D1 2.7μm Φ150(6”) □100 x1 i-line > 4/4μm
P806 3.5μm Φ200(8”) □140 x1 i-line > 5/5μm
P141 5.0μm Φ355 □250 x1.4 h/i-line > 8/8μm
P804 5.0μm Φ200(8”) □140 x1 h/i-line > 8/8μm

*1 by Positive-resist t=1μm of DOW

*2 Under development

Main frame lineup

ASS시리즈

실리콘, 사파이어, 크리스탈, 리튬 탄탈 레이트 등의 모든 웨이퍼, 세라믹 패키지 등의 기판에 서브㎛에서 수㎛의 미세 패턴을 타켓으로 하는 모든 포토리소그래피 요구에 대응하기 위해 개발 된 응용노광기가 ASS시리즈입니다.

고각도, 고화질 프로젝션 렌즈를 정밀 얼라인먼트가 가능한 바디에 탑재하여 모든 웨이퍼 중간크기까지의 패키지 기판을 고효율로 노광합니다.

FPS시리즈

풀사이즈기판에 미세 노광을 가능하게 하는 투영노광장치 500X600mm클래스의
풀 사이즈 기판에 대응 한 미세 패턴 노광이 가능한 투영노광장치입니다.

L/S 2μm 인터포저 등 고화질· 고정밀 · 고생산성이 요구되는 용도에 적합한 노광장치입니다.

MMS시리즈

생산성과 코스트를 양립시킨 투영노광장치 CERMA社의 스텝퍼 유형 노광기는 프린트 기판 용 장비로 MMS에서 시작했습니다. MMS 시리즈는 보드에서 웨이퍼, 그리고 필름에 이르기까지 다양한 기반으로 최적의 패턴을 고효율로 형성 할 수 있는 저비용 투영 방식 노광 장치입니다.

PEX시리즈

패널생산에 특화 된 투영노광장치
MMS시리즈의 기술을 이용한 터치 패널 등 패널 생산에
특화 된 투영방식노광장치입니다.